|
| |
|
|
Senzorické vlastnosti modifikovaných vrstev oxidu wolframu
Vojík, Jiří ; Mašek, Karel (vedoucí práce) ; Haviar, Stanislav (oponent)
Předmětem předložené práce je studium senzorických vlastností čistých, platinou dopovaných a zlatem dopovaných tenkých vrstev oxidu wolframu. Požadované vrstvy byly připraveny magnetronovým naprašováním na sklo a oxidovaný křemík. Jejich chemické složení bylo studováno metodou XPS. Jejich morfologie byla měřena pomocí AFM a SEM. Senzorická odezva vrstev v intervalu 1 000 až 10 000 ppm vodíku byla studována při teplotách od 100 do 350 řC. Ukázalo se, že během senzorických testů docházelo k částečné redukci oxidů platiny PtO2 a PtO až na kovovou platinu a jejímu zapouzdření oxidem wolframovým. Citlivost dopovaných vrstev byla zvláště na nižší koncentrace vodíku mnohem vyšší než v případě čistých vrstev. V případě platinou dopovaných vrstev citlivost klesala s rostoucí teplotou na rozdíl od zlatem dopovaných vrstev, kde citlivost naopak s teplotou rostla. Zlato se po přípravě nacházelo ve dvou stavech - v kovovém a ve formě oxidu Au2O3. Během senzorických testů došlo k jeho redukci. Senzorické testy způsobily zvětšení krystalických zrn a v případě platinou dopovaných vrstev také výrazné zvýšení jejich hrubosti.
|
|
|
Studium senzorických vlastností tenkých vrstev oxidu wolframu
Vojík, Jiří ; Mašek, Karel (vedoucí práce) ; Ševčíková, Klára (oponent)
Předmětem předložené práce je studium plynově senzorických vlastností čistých a platinou dopovaných tenkých vrstev oxidu wolframu na skleněném substrátu. Potřebné vrstvy byly připravovány magnetronovým naprašováním z wolframoxidového terče. Chemické složení a morfologie vrstev byly studovány metodami XPS a SEM. Zjistilo se, že deponované vrstvy jsou relativně rovné, homogenní a skládají se z polykrystalického WO3. Také se ukázalo, že platina přítomná v modifikovaných vrstvách je ve formě oxidů PtO2 a PtO. Během následného ohřevu na vzduchu, který je potřebný pro správné fungování vrstev jako senzorů, došlo ke zvýšení vodivosti vrstev a také k částečné redukci PtO2. Senzorické vlastnosti vrstev byly studovány při pracovní teplotě 300 řC. Větší citlivost na expozici vodíku prokázala platinou dopovaná vrstva.
|
host ::
RSS.